核心功能
每一项功能都针对实际产线场景设计，开箱即用
VM 虚拟量测引擎
实时预测关键参数，替代离线抽检
R2R 自动调参系统
闭环优化工艺，逐片自适应
EIP 设备健康监控
异常预警与预测性维护
SECS/GEM 智能通信
即插即用对接产线设备
业务价值
数据驱动的投资回报，看得见的降本增效
在线自适应
设备漂移自动跟调，越跑越精准
小数据驱动
物理先验 + 10-15 片即可建模
边缘部署
82KB 模型，秒级推理，数据不出厂
数据飞轮
每一片都是训练数据，持续进化
应用场景
从产线到交付，覆盖半导体设备全生命周期
刻蚀工艺监控
实时预测CD、深度、侧壁角等关键参数，替代离线抽检，抽检频率降低70%
薄膜沉积控制
膜厚、均匀性在线预测，R2R自动补偿设备漂移，批间一致性显著提升
离子注入调参
剂量、能量、角度多参数联合优化，Rs预测精度达到99%+
设备预测性维护
基于多维传感器数据的设备健康评分，提前72小时预警故障风险
产线良率提升
VM+R2R闭环控制，将工艺波动控制在Cpk>1.67水平
技术规格
| 硬件平台 | NVIDIA Jetson Orin NX 16GB |
|---|---|
| AI框架 | PyTorch + ONNX Runtime |
| 模型架构 | 四层混合架构（物理模型+神经网络+在线自适应+不确定性量化） |
| 推理延迟 | <50ms（单片） |
| 模型大小 | 82KB（ONNX量化后） |
| 通信协议 | SECS/GEM（SEMI E4/E5/E37/E30） |
| 数据接口 | SECS-II / OPC-UA / MQTT / REST API |
| 部署方式 | 边缘部署，数据不出厂 |
| 操作系统 | Ubuntu 22.04 LTS |
| Web管理界面 | 内置Dashboard，浏览器访问 |
