PM 后 Chamber Seasoning:AI 如何把 Dummy Wafer 从 25 片降到 10 片
Chamber seasoning 是 Fab 最稳定的隐性成本池,典型每次 PM 烧 25-30 片 dummy wafer。本文拆解 seasoning 的物理本质、为什么减量是个坑、以及 AI 三层技术路径如何把 dummy 降到 8-12 片。
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