NeuroBox 产品系列
NeuroBox™ E5200V
视觉 AI 检测盒子 — 看见异常 · 诊断原因 · 预测影响
核心价值
NeuroBox E5200V 是视觉检测 + 设备诊断一体化方案。接入工艺腔体摄像头，实时检测溅液、断流、抖动等异常，延迟 <50ms，误报率 <1%。支持 Modbus TCP 协议，可对接 PLC 控制的非 SECS 设备。
专为需要视觉检测的设备商和晶圆厂设计。接入工艺腔体摄像头，实时检测溅液、流体断流、晶圆抖动等异常事件，结合 EIP 设备健康诊断，形成「看见异常 → 诊断原因 → 预测影响」的完整闭环。支持 Modbus TCP 协议，可对接 PLC 控制的非 SECS 设备。
核心功能
每一项功能都针对实际产线场景设计，开箱即用
NeuroVision 视觉检测
溅液/断流/闪烁/抖动/形态异常实时检测
NeuroEIP 设备诊断
视觉异常触发健康评分重算 + PM 预测
Modbus TCP
PLC 设备直连，无需 SECS 协议
多输出联动
DO 报警灯 + PLC 停机 + MES 上报 + 视频存档
业务价值
数据驱动的投资回报，看得见的降本增效
实时异常检测 — <50ms/帧延迟，30fps 满速处理
误报率 <1% — 双重验证（亮度+形状），事件级智能合并
非 SECS 设备兼容 — Modbus TCP 解决 PLC 控制设备接入
完整闭环 — 从发现异常到诊断原因到预测影响，一台盒子搞定
应用场景
从产线到交付，覆盖半导体设备全生命周期
湿法清洗设备 — 检测喷嘴溅液、流体断流等异常
扩散炉 PLC 设备 — Modbus TCP 直连，无需 SECS 改造
腔体视觉监控 — 实时检测 + 自动截取异常视频片段
设备预防维护 — 视觉异常联动 EIP 诊断，精准预测 PM 时间
技术规格
| 计算模组 | NVIDIA Jetson Orin NX 16GB |
|---|---|
| AI 算力 | 100 TOPS（标准）/ 157 TOPS（Super Mode） |
| CPU | 8-core Arm Cortex-A78AE @ 2.0GHz |
| 内存 | 16GB LPDDR5，102.4 GB/s |
| 存储 | 512GB NVMe SSD |
| 预置软件 | UniSECS + Modbus TCP + NeuroVision + NeuroEIP |
| 检测类型 | 溅液 / 断流 / 闪烁 / 晶圆抖动 / 形态异常 |
| 摄像头接口 | GigE / USB 3.0 工业相机 |
| 通信协议 | SECS/GEM · Modbus TCP · MES REST API · DO 输出 |
| NVENC 硬编 | 12路 1080p30（H.265） |
| 显示 | 7寸 IPS 触控屏 |
| 电源 | 9V-36V DC 宽压输入 |
