核心功能
每一项功能都针对实际产线场景设计，开箱即用
整厂能耗实时监控
覆盖HVAC、CDA、PCW、UPW、真空等全部大宗系统及工艺设备能耗采集与可视化
AI异常检测与诊断
实时识别设备异常能耗模式，自动定位漏气、空转、老化等根因
HVAC智能调控
基于产线负载与环境数据，动态优化洁净室MAU/FFU/AHU温湿度设定值
尖峰负荷预测与错峰调度
AI预判用电高峰，自动优化排产与储能策略，降低尖峰电费
碳足迹核算与ESG报告
自动核算单片晶圆碳排放，一键生成ISO 14064合规报告
业务价值
数据驱动的投资回报，看得见的降本增效
能耗降低15-25%
AI优化HVAC与大宗系统运行参数，显著降低整厂电力消耗
尖峰电费节省20%+
智能错峰调度，避开尖峰时段高价电，年省百万级电费
ESG合规就绪
碳足迹自动核算，满足国际客户与出口合规要求
异常分钟级定位
从发现到定位异常能耗根因，从小时级缩短至分钟级
应用场景
从产线到交付，覆盖半导体设备全生命周期
洁净室HVAC节能 — AI动态调控MAU/FFU/AHU，根据产线负载自适应温湿度，节能15%+
大宗系统按需供给 — CDA/PCW/UPW/真空系统智能变频控制，避免空载浪费
工厂级能耗基线管理 — AI建立每片wafer标准能耗基线，超标即触发告警
碳中和路径规划 — 追踪碳排放趋势，辅助制定减碳策略与ESG年度报告
技术规格
| 部署方式 | SaaS云平台 + 本地数据采集网关 |
|---|---|
| 数据接入 | Modbus / BACnet / OPC-UA / MQTT |
| 监控范围 | HVAC、CDA、PCW、UPW、真空、工艺设备 |
| 数据精度 | 电力 ±0.5%，流量 ±1% |
| 告警响应 | <5分钟异常自动告警 |
| 报表输出 | 日报/周报/月报/ESG年报自动生成 |
| 碳核算标准 | ISO 14064 / GHG Protocol |
| 数据安全 | 支持本地化部署，数据不出厂 |
