NeuroBox E3200 是集芯科技的边缘AI计算盒，部署在设备侧实现50ms级实时推理，支持VM虚拟量测、R2R自动调参、FDC故障检测、SPC智能分析和预测性维护。以下是产品迭代记录。
🔄 数据飞轮：E3200的AI模型会随产线运行持续进化。每次工程师确认FDC根因、每片晶圆的量测反馈、每个PM事件的记录，都在让模型变得更准。运行3个月后的模型精度远超初始部署——这是传统规则引擎永远做不到的。
2026年3月 · v2.4
- SPC智能异常模式识别 — OOC报警自动分类（突变/漂移/周期/混合），关联FDC数据推荐根因
- 设备健康度评分 — 多维参数综合评估，可视化劣化趋势，支持PM周期智能建议
- SECS/GEM自动化联机测试 — 内置标准测试流程，原本数天的调试压缩到小时级
- 修复 HSMS-GS 模式下多Session并发稳定性问题
2026年2月 · v2.3
- VM-R2R联动闭环 — 虚拟量测结果直接驱动R2R控制器，端到端延迟 < 50ms
- PM后模型自动Retrain — 检测到PM事件后自动触发模型增量训练，无需人工干预
- 新增支持 Applied Materials Endura 和 Producer 系列设备的SECS/GEM配置模板
2026年1月 · v2.2
- FDC多参数关联检测 — 基于图神经网络的高维参数联合异常检测，捕捉单变量方法遗漏的关联故障
- 自动根因推荐 v2 — 基于历史故障知识图谱，报警时推荐Top-3可能根因及处理方案
- R2R自适应平滑 — AI动态调整响应速度，漂移加速时加快跟踪，噪声增大时自动抑制
- 边缘推理引擎内存占用降低 40%，单设备支持同时运行 8 个模型实例
2025年12月 · v2.1
- 虚拟量测(VM)模块正式上线 — 支持PLS/XGBoost/LSTM三种模型，自动特征工程，MAPE < 2%
- Trace Data自动特征提取 — 原始时序数据自动生成统计/分段/频域/时序四类特征
- 新增模型健康度监控仪表盘，实时显示预测精度漂移和输入分布偏移
2025年11月 · v2.0
- R2R控制引擎 — 支持SISO/MIMO模式，AI非线性建模替代传统EWMA，控制精度提升 45%
- SECS/GEM通信栈 v2 — 新增HSMS-GS多会话支持，兼容TEL、Lam Research设备通信特性
- 多Chamber独立控制 — 单台E3200同时管理4个Chamber的独立VM+R2R闭环
- 推理延迟优化至 35ms（v1.x为50ms）
2025年Q3 · v1.0 首发
- 边缘AI推理引擎，50ms实时推理
- FDC故障检测模块（单变量阈值 + 多变量统计检测）
- SECS/GEM通信栈 v1（HSMS-SS模式）
- Web管理界面，支持模型部署和监控
- Jetson NX硬件平台，工业级设计
即将推出 · 2026 Q2
- 预测性维护(PdM)模块：设备RUL预测、PM工单自动生成
- 良率关联分析：跨工序参数-良率关联建模
- NeuroBox Cloud 云端管理平台，多工厂多设备统一管控
