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2026年04月12日

GEM200 vs GEM300 完全对比：200mm 和 300mm 设备通信标准有什么区别？

GEM300在GEM200基础上新增E39/E40/E87/E90/E94等7项标准，从SECS-I串口升级到HSMS TCP/IP。300mm产线必须支持GEM300，200mm设备按需升级。

集芯
迈烁集芯技术团队
由迈烁集芯（上海）科技有限公司工程团队撰写。团队成员包括半导体制程工程师、AI/ML研究员和设备自动化专家，在中国、新加坡、台湾及美国的晶圆厂拥有超过50年的累计行业经验。
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