GEM200 vs GEM300 完全对比:200mm 和 300mm 设备通信标准有什么区别?
GEM300在GEM200基础上新增E39/E40/E87/E90/E94等7项标准,从SECS-I串口升级到HSMS TCP/IP。300mm产线必须支持GEM300,200mm设备按需升级。
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