NeuroBox 产品系列
NeuroBox™ E3200
Fab 工艺 AI 助手 · 专业版 — VM + R2R + EIP 全套闭环
核心价值
NeuroBox E3200 提供 VM 虚拟量测 + R2R 自动调机 + EIP 设备诊断三合一边缘 AI 平台。部署于产线边缘，推理延迟 <50ms，数据不出厂。支持 300+ 型号设备，2-4 周部署，良率提升 8%+。基于 NVIDIA Jetson Orin NX。
官网主推型号。面向有量产 AI 调机需求的晶圆厂，提供 VM 虚拟计量 + R2R 自动调机 + EIP 设备诊断三合一能力。部署于产线边缘，数据不出厂，每一批次自动优化，实现真正的闭环工艺控制。
核心功能
每一项功能都针对实际产线场景设计，开箱即用
NeuroVM 虚拟计量
物理先验四层架构，MAPE ≤15%
NeuroR2R 自动调机
CVXPY 二次规划，信任域自适应控制
NeuroEIP 设备诊断
健康评分 + PM 预测 + 故障根因分析
内置 Web Dashboard
浏览器直连，VM/R2R/EIP 统一管控
业务价值
数据驱动的投资回报，看得见的降本增效
闭环工艺控制 — VM 预测 → R2R 自动调参 → EIP 诊断，全自动化
量产级可靠性 — 安全白名单 + 参数硬约束，杜绝误调风险
数据不出厂 — 边缘计算，所有数据本地处理和存储
持续进化 — 每批次自动学习，模型越用越精准
应用场景
从产线到交付，覆盖半导体设备全生命周期
晶圆厂量产线闭环调机 — VM 预测 + R2R 自动优化每一批次
设备健康管理 — EIP 实时评分，提前预警 PM 维护时间
良率提升 — 减少工艺偏移，8%+ 良率改善
颗粒污染溯源 — 自动定位污染源，缩短停机排查时间
技术规格
| 计算模组 | NVIDIA Jetson Orin NX 16GB |
|---|---|
| AI 算力 | 100 TOPS（标准）/ 157 TOPS（Super Mode） |
| DLA 加速器 | 2× DLA v2 深度学习加速器 |
| CPU | 8-core Arm Cortex-A78AE @ 2.0GHz |
| 内存 | 16GB LPDDR5，102.4 GB/s |
| 存储 | 512GB NVMe SSD |
| 预置软件 | UniSECS + NeuroVM + NeuroR2R + NeuroEIP |
| 通信协议 | SECS/GEM · OPC-UA · MQTT · REST API |
| 网络 | 双千兆以太网 + WiFi 6 |
| NVENC 硬编 | 12路 1080p30（H.265） |
| 显示 | 7寸 IPS 触控屏 |
| 电源 | 9V-36V DC 宽压输入 |
