MTBF/MTTR 设备可靠性计算器
在线计算设备平均故障间隔时间、平均修复时间与可用率，附故障帕累托分析与改进建议
选择计算模式
设备在统计周期内的总运行时长
统计周期内发生的故障总次数
所有故障累计修复耗时
从第一条记录开始到统计截止的总运行时长（不含停机修复时间）
| # | 故障开始时间 | 修复完成时间 | 故障类型 | 修复时长 | 操作 |
|---|
计算结果
MTBF 平均故障间隔
-
小时
MTTR 平均修复时间
-
小时
可用率 Availability
-
-
故障率 Failure Rate
-
次/千小时
可用率仪表盘
MTBF / MTTR 对比
改进建议
半导体设备行业参考值
| 设备类型 | 典型 MTBF（小时） | 典型 MTTR（小时） | 参考可用率 |
|---|---|---|---|
| CVD 化学气相沉积 | 200 – 500 | 2 – 6 | 97% – 99% |
| 刻蚀设备 Etch | 300 – 800 | 1 – 4 | 98% – 99.5% |
| PVD 物理气相沉积 | 250 – 600 | 2 – 5 | 97% – 99% |
| CMP 化学机械抛光 | 150 – 400 | 2 – 8 | 95% – 98% |
| 光刻机 Litho | 200 – 500 | 4 – 12 | 95% – 98% |
| 离子注入 Ion Implant | 300 – 700 | 2 – 6 | 97% – 99% |
| 扩散炉 Furnace | 500 – 1500 | 2 – 6 | 98% – 99.5% |
| 量测设备 Metrology | 800 – 2000 | 1 – 4 | 99% – 99.8% |
计算说明：
MTBF = 总运行时间 ÷ 故障次数；MTTR = 总修复时间 ÷ 故障次数；可用率 = MTBF ÷ (MTBF + MTTR) × 100%；故障率 = 1 / MTBF。
行业参考值来源于公开文献与业界经验数据，实际值因设备型号、使用年限、维护策略差异较大，仅供参考。
如需针对您设备的精准可靠性分析，欢迎联系迈烁集芯获取专业评估。
从被动统计到主动预测
NeuroBox E3200 内置 AI 设备健康评分系统，实时监测设备退化趋势，在故障发生前预警，将 MTBF 提升 30% 以上。
