SECS/GEM 消息速查与解析工具
在线查询 SECS-II 消息、解析 SML 格式报文、参考 GEM 状态模型 —— 半导体设备联机工程师的效率工具箱
SECS-II 消息速查表
| Stream/Function | 消息名称 | 方向 | Reply | 描述 |
|---|
SML 消息解析器
粘贴 SML (SECS Message Language) 格式文本，自动识别 Stream/Function，解析数据结构和字段含义。
GEM 状态模型速查
| 状态 | 说明 | 触发条件 |
|---|---|---|
| DISABLED | 通信功能关闭，不响应任何 SECS 消息 | 操作员手动禁用 / 初始状态 |
| NOT COMMUNICATING | 通信已启用但尚未建立连接，设备持续发送 S1F13 尝试建立通信 | ENABLE 命令触发 |
| COMMUNICATING | 通信正常，可收发 SECS 消息 | 收到 S1F13 并成功回复 S1F14 (COMMACK=0) |
| 状态 | 说明 | Host 可执行操作 |
|---|---|---|
| OFFLINE / Equipment Offline | 设备未上线，Host 仅能发送 S1F13(通信建立) 和 S1F17(上线请求) | 建立通信、请求上线 |
| ONLINE / LOCAL | 设备在线，由操作员在设备端控制，Host 可读取数据但不能发远程命令 | 读取SV/EC/DVVAL，订阅事件和报警 |
| ONLINE / REMOTE | 设备在线，Host 可完全远程控制 | 全部操作：远程命令(S2F41)、配方管理(S7Fx)、参数设置(S2F15)等 |
| 状态 | 说明 |
|---|---|
| IDLE | 设备空闲，等待工作指令 |
| SETUP | 设备正在准备（加载配方、参数校验等） |
| READY | 设备就绪，等待物料到位 |
| EXECUTING | 正在执行加工 |
| COMPLETE | 加工完成，等待卸料 |
关于 SECS/GEM 协议
SECS/GEM（SEMI Equipment Communications Standard / Generic Equipment Model）是半导体制造业中设备与工厂主机（Host）通信的国际标准协议体系。SECS-I（SEMI E4）和 HSMS（SEMI E37）定义了物理传输层，SECS-II（SEMI E5）定义了消息格式和数据结构，而 GEM（SEMI E30）则规定了设备行为模型和通信场景，是实现设备自动化集成的基础。
在现代晶圆厂中，每台设备都需要通过 SECS/GEM 协议与 MES（制造执行系统）、EAP（设备自动化程序）和 FDC（故障检测与分类）系统通信。掌握 SECS/GEM 协议对于设备联机工程师、集成工程师和工艺工程师至关重要。常用的 SECS 消息包括：S1F1/F2（设备在线确认）、S1F3/F4（状态变量查询）、S2F41/F42（远程命令）、S6F11/F12（事件报告）、S7F1-F6（配方管理）等。
迈烁集芯（MST）深耕半导体设备 AI 解决方案，我们的 NeuroBox 产品线在 SECS/GEM 通信层之上构建了智能决策引擎，实现 Smart DOE 调机、VM 虚拟量测、R2R 实时控制等高级功能，帮助设备厂商和晶圆厂大幅提升生产效率和良率。本工具旨在为半导体设备联机工程师提供日常开发和调试的便捷参考。
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