NeuroBox Product Series

NeuroBox™ E3200

Fab 工艺 AI 助手 · 专业版 — VM + R2R + EIP 全套闭环

核心价值

NeuroBox E3200 提供 VM 虚拟量测 + R2R 自动调机 + EIP 设备诊断三合一边缘 AI 平台。部署于产线边缘,推理延迟 <50ms,数据不出厂。支持 300+ 型号设备,2-4 周部署,良率提升 8%+。基于 NVIDIA Jetson Orin NX。

官网主推型号。面向有量产 AI 调机需求的晶圆厂,提供 VM 虚拟计量 + R2R 自动调机 + EIP 设备诊断三合一能力。部署于产线边缘,数据不出厂,每一批次自动优化,实现真正的闭环工艺控制。

NeuroBox™ E3200
100/157 TOPS|AI 算力(标准/Super Mode)
<50ms|单片推理延迟
30-50%|R2R 闭环后偏差再降低
0-100|设备健康实时评分

Core Features

Every feature is designed for real production scenarios, ready to deploy

NeuroVM 虚拟计量

物理先验四层架构,MAPE ≤15%

NeuroR2R 自动调机

CVXPY 二次规划,信任域自适应控制

NeuroEIP 设备诊断

健康评分 + PM 预测 + 故障根因分析

内置 Web Dashboard

浏览器直连,VM/R2R/EIP 统一管控

Business Value

Data-driven ROI with measurable cost reduction

闭环工艺控制 — VM 预测 → R2R 自动调参 → EIP 诊断,全自动化

量产级可靠性 — 安全白名单 + 参数硬约束,杜绝误调风险

数据不出厂 — 边缘计算,所有数据本地处理和存储

持续进化 — 每批次自动学习,模型越用越精准

Use Cases

From production line to delivery, covering the full equipment lifecycle

晶圆厂量产线闭环调机 — VM 预测 + R2R 自动优化每一批次

设备健康管理 — EIP 实时评分,提前预警 PM 维护时间

良率提升 — 减少工艺偏移,8%+ 良率改善

颗粒污染溯源 — 自动定位污染源,缩短停机排查时间

Technical Specifications

计算模组 NVIDIA Jetson Orin NX 16GB
AI 算力 100 TOPS(标准)/ 157 TOPS(Super Mode)
DLA 加速器 2× DLA v2 深度学习加速器
CPU 8-core Arm Cortex-A78AE @ 2.0GHz
内存 16GB LPDDR5,102.4 GB/s
存储 512GB NVMe SSD
预置软件 UniSECS + NeuroVM + NeuroR2R + NeuroEIP
通信协议 SECS/GEM · OPC-UA · MQTT · REST API
网络 双千兆以太网 + WiFi 6
NVENC 硬编 12路 1080p30(H.265)
显示 7寸 IPS 触控屏
电源 9V-36V DC 宽压输入

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