NeuroBox Product Series
NeuroBox™ E3200S
Fab 工艺 AI 助手 · 标准版 — 虚拟计量入门之选
核心价值
NeuroBox E3200S 是入门级边缘 AI 虚拟量测方案。用 10-15 片晚圆冷启动建模，物理先验 + 神经网络 + 在线学习四层架构，越用越准。面向初次导入 AI 的晚圆厂，可软件升级为 E3200（追加 R2R + EIP），无需换硬件。
面向预算有限或初次导入 AI 虚拟计量的晶圆厂（Fab），提供核心 VM 预测能力。通过物理先验 + 神经网络 + 在线学习的四层架构，10-15 片冷启动建模，越用越精准。可升级为 E3200（追加 R2R + EIP 模块授权，无需换硬件）。
Core Features
Every feature is designed for real production scenarios, ready to deploy
UniSECS Driver
SECS/GEM 全协议栈通信
NeuroVM 虚拟计量
物理先验 + 残差网络 + 在线学习
10-15 片冷启动建模
无需大量历史数据
可升级为 E3200
追加 R2R + EIP，无需换硬件
Business Value
Data-driven ROI with measurable cost reduction
低门槛入门 — Fab 虚拟计量最低成本方案
即插即用 — 开箱连接设备，无需 IT 基础设施改造
数据不出厂 — 边缘部署，满足半导体行业数据安全要求
平滑升级 — 业务增长后追加软件授权，硬件完全复用
Use Cases
From production line to delivery, covering the full equipment lifecycle
离子注入 Rs 预测 — 替代全检，节省量测成本
刻蚀 CD/Rate 监控 — 实时预测关键尺寸
CVD/PVD 膜厚预测 — 减少量测等待时间
CMP 去除量预测 — 优化研磨终点控制
Technical Specifications
| 计算模组 | NVIDIA Jetson Orin Nano 8GB |
|---|---|
| AI 算力 | 40 TOPS（标准）/ 67 TOPS（Super Mode） |
| CPU | 6-core Arm Cortex-A78AE @ 1.5GHz |
| 内存 | 8GB LPDDR5，68 GB/s |
| 存储 | 512GB NVMe SSD |
| 预置软件 | UniSECS Driver + NeuroVM |
| 支持工艺 | Implant / Etch / CVD / PVD / CMP / Litho |
| 通信协议 | SECS/GEM · OPC-UA · MQTT · REST API |
| 网络 | 双千兆以太网 + WiFi 6 |
| 显示 | 7寸 IPS 触控屏 |
| 电源 | 9V-36V DC 宽压输入 |
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